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更新时间：2026-06-26 18:55:08

duì zhǔn jīng dù

对准精度

拼音duì zhǔn jīng dù

注音ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥㄉㄨˋ

词语解释

对准精度[ duì zhǔn jīng dù ]

光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。

词语组词

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